⎛⎝{随机字母}{随机字母}{随机字母}{随机字母}{随机字母}⎠⎞上海微电子装备(集团)股份有限公司

五分飞艇,五分飞艇app下载

長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量


SOM245/10

SOM255/10

SOM200系列長短寸測量設備配合光刻機,用于長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量。
   產品特征

● DUOGONGNENGCELIANG,CHANGCUNCELIANGTONGSHIJIANRONGCD/OverlayCELIANGJIGUANGKEJIAOMOHOUCELIANG

● GAOCELIANGJINGDU,CDCELIANGZHONGFUXING30nm,TPCELIANGZHONGFUXING280nm,MANZUGAOFENBIANLVGUANGKEDECELIANGXUQIU

● GAOCELIANGXIAOLV,CAIYONGQIAOSHIJIEGOU,GENGWENDINGGENGGAOSU

● GAOXIAODEWENDUKONGZHIXITONG

五分飞艇,五分飞艇app下载● KUAISULINGHUODEKEZHIHUAFUWU

   主要技術參數

 型號

SOM245/10 

 SOM255/10

 CD測量重復性

 30nm@3Sigma

 30nm@3Sigma

CD測量復現性

50nm@3Sigma 

 50nm@3Sigma

 TP測量重復性

 280nm@3Sigma

300nm@3Sigma

 TP測量復現性

400nm@3Sigma 

450nm@3Sigma