⎛⎝{随机字母}{随机字母}{随机字母}{随机字母}{随机字母}⎠⎞上海微电子装备(集团)股份有限公司

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金屬掩模測量設備 —— AM-OLED張網檢測


SOC260

SOC260主要應用于G6產線蒸鍍金屬掩模的TP/CD檢測。
   產品特征

● LONGMENQIFUJIEGOU

● DUOZIYOUDUJIGUANGGANSHEYI

● GAOJINGDU

● GAOXIAOLV

● KEPEIZHIBUTONGDEZHAOMINGFANGSHI

五分飞艇,五分飞艇app下载● KEKAODEWENDUKONGZHIXITONG

   主要技術參數

型號

SOC260 

線寬測量重復性

100nm@3sigma(On Metal Mask)

線寬測量精度

±300nm(On Mapping Glass)

CHANGCUNCELIANGZHONGFUXING

300nm@3sigma(On Mapping Glass)

長寸測量重復性

500nm@3sigma(On Metal Mask)